概要：本設(shè)備包括箱式電爐、電源控制面板、測溫裝置和氣氛控制系統(tǒng)。該電爐能夠通過PLC/觸摸面板操作控制，能夠調(diào)整為不同程序和進(jìn)行精確氣氛控制。

技術(shù)要求及參數(shù)：

?1： 處理材料：MLCC（BME）

2： 爐子氣氛：H₂（0～5%）+N₂??

3：尺寸（工作區(qū)） ：200（L）×200（H）×300（D）

:4： 加熱溫度：正常溫度：1250℃～1350℃?? 最高溫度：1400℃

5：溫控要求：

?5.1: 電源? ：三相電壓380V? 50Hz

5.2:儀表控溫精度為±1℃，爐膛內(nèi)橫截面溫度均勻度為±3℃以內(nèi)（以測溫磚測量為準(zhǔn)，生產(chǎn)廠家需提供檢測手段）。

5.3:升溫速率可達(dá)2-5℃/min。

5.4:全自動(dòng)溫度控制、氣流量控制、程序控制，能自動(dòng)記錄任何時(shí)刻的各種工藝參數(shù)及設(shè)備運(yùn)行數(shù)據(jù)。能設(shè)定程序10個(gè)、每個(gè)程序15個(gè)段。

5.5:曲線可設(shè)定各程序段的溫度、氣體流量、時(shí)間可調(diào)節(jié)、設(shè)定。

6: 氣氛要求?

6.1使用氣體：

??6.1.1N_2??? ：0.41Mpa（約20升/分鐘）

? ????6.1.2N₂ +H₂（10%） ：0.41Mpa（約5升/分鐘）

6.1.3純凈壓縮空氣:?? 0.5Mpa(約500ml/min。)

6.1.4加熱溫度可調(diào)的水蒸汽

6.1.5冷卻水 ：0.15Mpa

?6.2有爐內(nèi)氣壓的測試和顯示裝置

6.3加濕器 ： 1套 ，能觀察到加濕器內(nèi)部水位高低，方便及時(shí)加水，帶有加熱器 ：鞘式加熱器??

6.4設(shè)置氣體混合器???

6.5設(shè)置合理進(jìn)氣方式，保證爐膛內(nèi)氣氛均勻

7、 報(bào)警：

????? 緊急停機(jī)，超溫報(bào)警，SCR故障，冷卻水停止，爐壓報(bào)警， PLC電池耗竭，通訊故障。

?8、記錄：配有無紙記錄儀

記錄儀顯示和存儲(chǔ)的當(dāng)前值：① 溫度值（溫控曲線） ②壓力③MFC（氮?dú)猓?④MFC（氮?dú)?氫氣）⑤MFC（空氣）全程跟蹤記錄設(shè)備爐溫等技術(shù)參數(shù)，方便隨時(shí)查閱。

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